照射激光降低MEMS振荡器热噪声

作者:鸭脖发布时间:2022-01-31 19:18

本文摘要:日本电信电话公司(NTT)与日本东北大学联合构建了通过太阳光激光减少MEMS机械振荡器热噪声的激光加热方法。MEMS振荡器主要用作传感器和信号发射器等,此次的技术未来将会提升其精度。 激光加热是一种通过太阳光激光让对象物获释能量使其加热的方法。 此次,研究人员利用晶体生长技术构建了光学特性和压电特性出色的砷化镓(GaAs)及砷化铝镓(AlGaAs)各200nm薄的半导体二层结构,利用识加工技术加工出了机械振荡器。

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日本电信电话公司(NTT)与日本东北大学联合构建了通过太阳光激光减少MEMS机械振荡器热噪声的激光加热方法。MEMS振荡器主要用作传感器和信号发射器等,此次的技术未来将会提升其精度。  激光加热是一种通过太阳光激光让对象物获释能量使其加热的方法。

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此次,研究人员利用晶体生长技术构建了光学特性和压电特性出色的砷化镓(GaAs)及砷化铝镓(AlGaAs)各200nm薄的半导体二层结构,利用识加工技术加工出了机械振荡器。凭借灵敏的光吸收特性,只吸取特定波长的光,把此时产生的内部电压作为对热振动的制动器力用于,从而减少了热噪声。

  此次制作的机械振荡器是宽20m、长14m、薄0.4m的板弹簧状。只需向振荡器的根部太阳光激光,就能将冷振动减为。  以前,激光加热必须利用仪器的光共振器。

而此次的方法需要光共振器,还可以作为半导体构建元件用于。今后NTT和东北大学还将更进一步前进研究,以提升加热效果、构建与激光元件的构建以及室温下工作等。


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